Microbolomètre - définition
Microbolomètre - définition
Un Microbolomètre est un type de détecteur infrarouge utilisé pour mesurer la température sans contact en enregistrant la chaleur émise par des objets dans la gamme des infrarouges moyens et lointains (typiquement de 8 à 14 µm). Il s'agit d'un capteur non refroidi dont le fonctionnement est basé sur le changement de résistance d'un matériau à couche mince qui absorbe le rayonnement thermique, en raison de l'augmentation de la température causée par l'absorption de l'énergie du rayonnement.
La structure du microbolomètre consiste en un détecteur microscopique suspendu au-dessus du substrat de telle sorte qu'il est isolé thermiquement, ce qui permet de détecter même de très petites variations de température. Les matériaux utilisés pour construire les éléments actifs sont généralement de l'oxyde de vanadium (VOx) ou du silicium amorphe (a-Si), qui ont une grande sensibilité à la température. Le changement de résistance de l'élément sensible est ensuite converti en un signal électrique et interprété comme une valeur correspondant à la température de l'objet.
Les microbolomètres sont utilisés sous la forme de réseaux de pixels dans les caméras thermiques, ce qui permet une imagerie thermique en temps réel sans qu'il soit nécessaire de refroidir les éléments de détection à des températures cryogéniques. Ils sont donc moins chers, plus compacts et plus économes en énergie que les détecteurs refroidis. Leurs paramètres techniques, tels que la différence de température équivalente au bruit (NETD), la résolution spatiale, la vitesse de lecture et la stabilité thermique, déterminent la qualité de l'image thermique.
La technologie des microbolomètres est utilisée dans de nombreux domaines, notamment les diagnostics industriels, l'automatisation des bâtiments, les systèmes de sécurité, la thermographie médicale, l'armée et l'automobile (systèmes d'aide à la vision nocturne). Avec le développement de la microélectronique et des microsystèmes électromécaniques (MEMS) , les microbolomètres sont de plus en plus perfectionnés, ce qui permet de les intégrer à des systèmes de traitement des signaux et à des algorithmes d'analyse d'image intelligents.
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