電子顕微鏡 - 定義
電子顕微鏡 - 定義
電子顕微鏡は、可視光の代わりに電子ビームを使用して、調査対象の拡大画像を生成する精密光学装置である。電子の波長が非常に短いため、光学顕微鏡よりもはるかに高い解像度が可能であり、ナノメートルあるいは原子サイズの構造を観察することさえできる。この技術は、主に生命科学、材料科学、電子工学、工学の研究に用いられ、微細構造の形態や組成の詳細な分析を可能にしている。
電子顕微鏡の基本要素は電子銃で、静電場によって加速された電子ビームを発生させる。電磁レンズのシステムにより、真空中に置かれた検査対象物にビームを向け、焦点を合わせる。電子が試料表面と相互作用することにより、二次信号、例えば電子 二次、反射、X線などが放出され、検出器によって記録され、画像形成や化学組成の分析が行われる。
電子顕微鏡には、表面形状を分析できる走査型電子顕微鏡（SEM）や、非常に薄い試料の内部を卓越した分解能で画像化できる透過型電子顕微鏡（TEM）など、使用する設計や手法によってさまざまなタイプがある。電子顕微鏡の操作には、高真空や十分な機械的・温度的安定性といった特殊な条件が必要である。
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