電気機械マイクロシステム (MEMS) - 定義
電気機械マイクロシステム (MEMS) - 定義
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）とは、機械、感覚、アクチュエータ、電子部品を組み合わせた集積化された小型デバイスのことで、主に半導体製造で知られる微細加工技術を用いて構築される。MEMS は、静電気 、圧電、電磁気、または熱力学などの物理現象を利用して、物理的・機械的信号をパルス 電気信号に変換したり、その逆に変換したりする。
典型的なMEMSシステムの構造には、制御、信号処理、 および環境との通信の機能を実行する電子回路と相互作用する、梁、ダイヤフラム、バネ、ギア、レバーなどの微視的な機械部品が含まれる。MEMSの製造は、精密リソグラフィ、エッチング、薄膜蒸着、マイクロ・アセンブリ・プロセスに基づいており、数マイクロメートルから数ミリメートルまでのサイズの構造を実現することができる。
MEMSは、センサー技術（加速度計）、ジャイロスコープ、 圧力センサー、MEMSマイクロフォン）、作動システム（マイクロポンプ、マイクロバルブ）、医療（マイクロニードル、インプラント）などで広く使用されている。その主な利点は、小型化、低消費電力、高信頼性、比較的低い単価での大量生産の可能性である。
最新のシステムでは、MEMSはCMOS（相補型金属-酸化膜-半導体）チップ と統合され、自律的なデータ収集、分析、リアルタイム動作が可能なインテリジェント・マイクロシステムを作り出している。先進的なMEMS研究にはNEMS（ナノ電気機械システム）の開発も含まれ、ナノメートルの長さスケールに向かって小型化の限界を押し広げている。
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