マイクロボロメーター - 定義
マイクロボロメーター - 定義
マイクロボロメーター（Microbolometer） は赤外線検出器の一種で、中・遠赤外線領域（） （通常8～14 µm）の物体から放射される熱を記録することにより、非接触で温度を測定するために使用される。非冷却式センサーで、熱放射を吸収する薄膜材料の抵抗変化に基づいて動作し、放射エネルギーの吸収 による温度上昇の結果として生じる。
マイクロボロメーターの構造は、基板の上に吊り下げられた顕微鏡検出器からなり、、 熱的に絶縁されているため、非常に小さな温度変化も検出することができる。能動素子を構成する材料は通常、酸化バナジウム（VOx）またはアモルファス・シリコン（a-Si）であり、これらは高い温度感度を持つ。検出素子の抵抗値の変化は電気信号に変換され、対象物の温度に対応する値として解釈される。
マイクロボロメーターは、赤外線カメラ（）のピクセルアレイ（ ）の形で使用され、センシング素子を極低温に冷却することなく、リアルタイムの赤外線イメージングを可能にしている。そのため、冷却型検出器よりも安価でコンパクト、エネルギー効率も高い。NETD（ノイズ等価温度差）、空間分解能、読み出し速度、温度安定性などの技術パラメーターが熱画像の品質を決定します。
マイクロボロメーター技術は、産業診断、ビルオートメーション、セキュリティシステム、医療用サーモグラフィ、軍事、自動車（暗視支援システム）など、多くの分野で使用されている。マイクロエレクトロニクス および電気機械マイクロシステム（MEMS） の発展に伴い、マイクロボロメーターはより高度になり、信号処理システムやインテリジェントな画像解析アルゴリズムとの統合が可能になっています。
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